计量学报

作者：钟青,袁文泽,史艳平,王雪深,周哲海,李劲劲

单位：中国计量科学研究院, 北京 100029

关键词：计量学; 功率计量; 毫米波; 功率基准; 薄膜电阻

基金：中国计量科学研究院基本科研业务费重点领域项目(AKYZD1801-2);北京信息科技大学2017-2018年度“实培计划”

针对毫米波WR-6波段功率标准器核心芯片需求,设计了芯片整体结构,研究了结构中各层的微加工工艺,制备了温度传感用Pt薄膜,在250 ℃退火后,100 nm Pt薄膜的电阻温度系数(TCR)达到2.4×10-3/K,相对稳定度为2.4×10-6。安装在毫米波功率标准器上的芯片对110～170 GHz的反射率低于-23 dB。直流功率灵敏度为0.83 mΩ/mW。

来源：2019年第2期

《计量学报》期刊编辑部

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