计量学报

作者：张凌华, 韩森, 吴泉英, 唐寿鸿, 李雪园, 王全召

单位：1. 苏州科技大学, 江苏 苏州 215009; 2. 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123;

关键词：计量学; 面形测量; 4步旋转绝对检测法; 闭环自检; 重复性

基金：国家重大科学仪器设备开发专项(2016YFF0101900)

基于Ai C和Wyant J C的奇偶函数法,提出了4步旋转绝对检测方法,减少了旋转次数,将第二次测量的旋转角度选为90°。实验基于HOOL L9600A-HS3干涉仪,采用4步旋转绝对检测方法,将3个平面两两互检计算出3个平面的绝对面形。其中平面C的表面面形起伏高度均方根(RMS)值和峰谷(PV)值分别为3.460 nm和35.227 nm,经闭环自检后的测量结果分别为3.783 nm和34.305 nm以及3.669 nm和34.252 nm,数据基本一致,表明测量数据能够实现闭环自检。使用该方法对中国计量科学研究院的标准平面镜进行测量, 平面的RMS值和峰谷PV值分别为2.400 nm和19.600 nm,与该院的测量结果2.000 nm和16.000 nm对比,两者的测量偏差在nm量级,充分证明了实验的有效性及高重复性;此外实验还分析了温度对测量结果的影响。

来源：2019年第2期

《计量学报》期刊编辑部

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