计量学报

作者：杨文军,胡迟,刘晓军

单位：华中科技大学 机械科学与工程学院, 湖北 武汉 430074

关键词：计量学; 原子力显微镜; 探针标定; 可溯源; 白光干涉

基金：国家自然科学基金(51475192)

研制了一种基于白光干涉的可溯源原子力探针扫描显微镜,提出了一种稳健的白光干涉零级条纹定位算法,建立了一套高分辨激光干涉位移测量系统。在此基础上提出了一种探针标定方法,实现微纳表面可溯源测量。通过对台阶高度为(21.4±1.5)nm的标准光栅进行10次重复测量,其结果的平均值为21.56 nm,标准差为0.51 nm;同时对高度为150 nm的三维特征样件进行了三维测量,验证了所研制仪器测量的准确性和稳定性。

来源：2019年第2期

《计量学报》期刊编辑部

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