计量学报

作者：袁思昊,刘欣萌,黄辉

单位：中国计量科学研究院, 北京 100029

关键词：计量学; 共面波导; W波段; On-wafer; 砷化镓; Multi-TRL校准件; 散射参数

设计制作了用于1 ~110 GHz On-wafer 散射参数测试系统自校准的GaAs基Multi-TRL校准标准件。主要验证了Multi-TRL校准标准件设计的正确性;经过与国外计量标准及商用校准件比对,还验证了在频率范围1 GHz~110 GHz,用于Multi-TRL校准的校准标准件的准确性。

来源：2019年第5期

《计量学报》期刊编辑部

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