计量学报

作者：周杨,李程伟,徐筱波,张勇,黄斌

单位：合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009

关键词：计量学; 液晶玻璃面板; 气浮支承; 供气方式; Fluent仿真

基金：国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ220749)

液晶玻璃平板在线检测流程当中,气膜的流场压力和速度的分布需要较高的稳定性,为了比较不同的气浮平台供气方式对气膜稳定性的影响,结合气体润滑理论,分析得出气膜稳定后的压力分布情况。通孔在气浮板上通常采用阵列排布,使用Gambit对气浮平台三维模型进行网格的划分,再将其导入软件Fluent中,对正压供气方式和正负压供气方式进行仿真计算,分析得到2种不同供气模式下气浮力的分布以及速度分布。由以上分析可得,若气浮系统中其余变量保持不变,正负压同时供气方式优势更加明显,气膜稳定后气浮力和速度分布平缓,所需气体的质量流量较正压供气方式更少。以正负压同时供气方式自制玻璃基板光学缺陷检测样机,实验结果表明气膜间隙变化量小于1μm。

来源：2019年第6期

《计量学报》期刊编辑部

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