计量学报

作者：唐莹, 曹丛, 张健, 赵东升

单位：山东省计量科学研究院,山东济南250014

关键词：计量学,原子力显微镜,扫描模式,设定值,探针磨损

基金：科技部国家重点研发计划（2018YFF0212305）

研究了不同模式下设定值对AFM成像质量、测量准确度、样品及探针磨损情况的影响。结果表明,接触模式下弯曲量设定越大,探针与样品相互作用力越大,噪声减小,成像质量提高,但是会对样品和探针造成较大磨损,降低测试测量准确度,一般表面起伏较大的硬样品适合此模式;轻敲模式下进针会有一个振幅设定,由此值开始,随着振幅设定减小,测量准确度和探针磨损程度先增加后减小,噪声和磨损均不大,适合于表面比较平滑的非粘性样品;智能模式下参数可自动调节,且对样品和探针的磨损较小,但是受噪音影响较大,测量数据较小时准确度偏低。

来源：2019年第6A期

《计量学报》期刊编辑部

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