计量学报

作者：秦海濛, 林虎, 薛梓, 杨国梁, 张福民

单位：天津大学 精密仪器与光电子工程学院, 天津 300072

关键词：计量学,误差检测,激光跟踪干涉仪,坐标测量机,最小二乘法,高斯牛顿法

基金：国家重点研发计划(2017YFF0204804)

激光跟踪干涉仪具有自跟踪功能,测量空间对角线时相对激光干涉仪更方便,因此对激光跟踪干涉仪检测坐标测量机的原理和方法开展研究。对激光跟踪干涉仪采用不同分布开展了基站坐标自标定实验,得到基本一致的基站站位坐标;在此基础上开展了激光跟踪干涉仪和激光干涉仪的应用对比实验。实验结果表明二者测量500mm长度的最大差值为0.37μm,线性补偿后小于0.1μm。因此验证了激光跟踪干涉仪检测方法的正确性和可行性,为坐标测量机检测提供了一种更便捷的方法,尤其适用于受实物标准器尺寸限制的大型坐标测量机检测。

来源：2019年第6A期

《计量学报》期刊编辑部

查看计量学报杂志2019年第6A期