计量学报

作者：费致根, 王开创, 周强, 巩晓赟

单位：郑州轻工业大学河南省机械装备智能制造重点实验室,河南郑州 450002

关键词：计量学,形貌测量,ICF靶丸,球度误差,检测方法,锥光全息技术

基金：中国博士后科学基金资助项目(2018M632786);河南省自然科学基金(182300410262);人社部留学人员科技项目(JDG20170092)

为了对ICF靶丸的表面形貌及球度误差进行高精度测量,开发了一台五轴坐标测量机,并采用锥光全息技术的激光测头实现对靶丸表面的高精度、非接触检测。首先,根据靶丸表面的结构特点,改进了基于最小二乘的球度误差评价算法;然后,介绍了作为实验平台的五轴坐标测量机的整体配置,推导了该坐标测量机的测量数学模型,该坐标测量机可实现在多个姿态下对靶丸的非接触取点测量;最后,在相同条件下,进行了5次实验测量,其结果表明:靶丸球度误差测量的均值为0.0021mm,标准差为2.07x10-4mm。该检测方法可以满足对靶丸表面形貌及球度误差高精度、高稳定性的测量要求。

来源：2020年第4期

《计量学报》期刊编辑部

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