计量学报

作者：陈建超,安小广,冯世绪,王加春

单位：1. 燕山大学 机械工程学院, 河北 秦皇岛 066004; 2. 河北省重型智能制造装备技术创新中心, 河北 秦皇岛 066004;

关键词：计量学;原子力显微镜;扫描参数;成像质量;轻敲模式; 幅值误差

基金：河北省自然科学基金(E2018203440/E2018203403);河北省高等学校自然科学研究青年基金(QN2016004);中央高校基本科研业务费专项资金(30917014101);燕山大学青年教师自主研究计划(15LGB001)

针对原子力显微镜(AFM)扫描参数对成像质量的影响规律,对现有的扫描参数影响成像质量的研究进行了分析。提出了以幅值误差作为评价AFM成像质量的指标,通过实验研究了扫描参数对AFM成像质量的耦合影响。发现了扫描频率fs、积分增益I和幅值设定点S这3个扫描参数间相互影响的现象,在S低较低情况下可设置更大的fs和I,在获取高质量成像的同时,提升了测量效率,对扫描参数的合理设置提供了可靠的操作准则。

来源：2020年第7期

《计量学报》期刊编辑部

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