计量学报

作者：都伯林,高思田,黄鹭,施玉书,曲兴华

单位：1. 天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津 300072; 2. 中国计量科学研究院,北京 100029;

关键词：计量学;钨探针;针尖增强拉曼光谱;纳米颗粒修饰

基金：国家重点研发计划(2016YFF0200602);国家重点研发专项(2016YFA0200901)

提出了一种适用于针尖增强拉曼光谱(TERS)系统的金修饰钨丝探针,研究了其制备方法。有限元仿真设计了针尖的形状为内弧形针尖,并进行二氧化硅粘结层和金颗粒外层双镀膜结构纳米修饰;通过调节实验室自主研制的电化学腐蚀探针装置的溶液浓度、电机位移和浸入深度制备符合形状要求的钨丝针尖;在此基础上,通过电感耦合等离子体化学气相沉积技术(ICP-CVD)进行二氧化硅涂层镀制,电子束加热物理气象沉积技术(EB-PVD)进行金涂层镀制。最终完成该探针制备,双层镀膜后针尖曲率半径达30~80nm,可用于TERS研究。

来源：2020年第12期

《计量学报》期刊编辑部

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