计量学报

作者：刘贤文,徐骁龙,李劲劲,王雪深,钟青,曹文会,白剑楠,张硕,刘想靓,司坤宇,周哲海,甘海勇

单位：北京信息科技大学 仪器科学与光电工程学院, 北京 100192

关键词：计量学;超导薄膜;TES;单光子探测器

基金：北京信息科技大学2018-2019年度“实培计划”;中国计量科学研究院基本科研业务费重点领域项目(AKYZD1903)

超导转变边沿传感器(TES)是光强单位坎［德拉］量子化所需的单光子探测器,金属超导薄膜物理特性的研究是TES研究的基础。采用不同电源功率磁控溅射制备高纯Al、Ti超导纳米薄膜,分析其薄膜生长速率随气压和功率的变化。利用表面应力仪及电学测量仪,分析薄膜表面应力及电学特征。最后将薄膜放入商用稀释制冷机中,进行超低温测试,获得其超导特性。研究发现超导转变温度Tc以及转变沿宽度ΔT是影响TES能量分辨率以及时间常数的重要参数。实验结果将为TES器件的制备奠定基础。

来源：2021年第2期

《计量学报》期刊编辑部

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