计量学报

作者：樊宏伟,刁晓飞,张福民,薛梓,董欣媛,铁咪咪

单位：天津大学 精密仪器与光电子工程学院,天津 300072

关键词：计量学;激光干涉仪;CORDIC;半波长误差;近似误差

基金：国家重点研发计划资助(2016YFF0200601)

为了满足纳米级分辨率和高速处理,设计了基于CORDIC算法的激光干涉信号处理系统。研究发现信号处理系统存在半波长大小的粗大误差。对该半波长误差的特点与形成机理进行了研究,研究表明该半波长误差的根源为小数相位测量存在一定的误差区间,在干涉信号相位零点附近,该误差区间导致小数相位处于［2π-,0+］,具有不确定性;与整数相位结合时,可能产生半波长误差。在对半波长误差深入研究的基础上,给出修正表,提出了基于CORDIC算法相位补偿技术,以消除半波长粗大误差对激光干涉测量系统的影响。实验结果表明:在信号处理系统中,该相位补偿技术能够有效地消除半波长粗大误差,由CORDIC算法引入的总量化误差小于±0.05nm。

来源：2021年第3期

《计量学报》期刊编辑部

查看计量学报杂志2021年第3期