计量学报

作者：胡佳成,颜迪新,曹丛,施玉书,张树,李东升

单位：中国计量大学,浙江 杭州 310018

关键词：计量学;图像重构;针尖展宽效应;原子力显微镜;条件生成式对抗网络;一维栅格

基金：国家重点研发计划(2018YFF0212302);国家自然科学基金(51504229)

针对原子力显微镜（AFM）成像过程中针尖展宽效应引起的误差,提出一种基于条件生成式对抗网络（CGAN）的AFM图像盲重构方法。首先,以pix2pixHD模型为基础,通过全局生成网络对仿真样本数据进行对抗训练,引入AFM测量数据采用局部提升网络联合训练;最后,特征匹配损失函数以用于提升栅格边缘横向分辨力。实验结果表明:对于线宽8μm一维矩形栅格在AFM下的测量图像进行盲重构,重构图像标准差为0.33μm×0.45μm,具有较高的成像分辨力,有利于提升AFM图像一维栅格测量的准确度。

来源：2021年第5期

《计量学报》期刊编辑部

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