计量学报

作者：吴翠红,于博,赵晶,刘效含,吴欣宇

单位：长春理工大学光电信息学院机电工程学院,吉林 长春 130012

关键词：计量学;微摩擦;微机电系统;测试技术;光反射;计量标定

基金：吉林省教育厅“十三五”科学技术项目(JJKH20191248KJ)

为解决微机电系统存在的微摩擦问题,提出了一种以光反射为基础的微摩擦测试技术。探讨了该测试方法的基本原理和实施步骤,设计研发了微机电系统的微摩擦测试样机,详细分析了该测试系统计量标定的完整过程,最终得到了该系统的计量测试数据及曲线。通过对Cu-Si、Al-Si表面进行微摩擦实验测试,得到了Cu-Si、Al-Si表面的μm量级微摩擦系数,有效验证了该测试系统能够满足微机电系统微摩擦测试的需要,同时,也为微机构运动特性的理解及设计提供了依据。

来源：2021年第10期

《计量学报》期刊编辑部

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