计量学报

作者：定翔,付彦哲,李飞,刘文丽

单位：中国计量科学研究院,北京 100029

关键词：计量学;定位精度;拉曼光谱;拉曼成像;检测模体

基金：国家重点研发计划NQI专项(2016YFF0201005)

激光共焦拉曼光谱仪通常采用逐点扫描的方式进行成像,若三维移动平台定位不准确,图像就会产生畸变,导致图像与样品不能匹配。针对这一问题提出了一种简便的拉曼成像定位精度检测方法,并基于费米函数拟合方法寻找边界来提高测量精度。通过在硅基底上镀一层70nm厚金属铬图形的方法制作了检测模体,利用商业化仪器进行了实验验证,仪器的定位重复性为0.2μm。结果表明:该方法可以用于检测拉曼光谱仪的成像定位精度,具有简便和稳定的特点。

来源：2021年第10期

《计量学报》期刊编辑部

查看计量学报杂志2021年第10期