计量学报

作者：陈沈理,郭广建,李敏毅

单位：1. 广东省计量科学研究院,广东 广州 510405; 2. 广东省现代几何与力学计量技术重点实验室,广东 广州 510405;

关键词：计量学; 超声功率测量; 标准超声换能器; 铌酸锂基片; DDS; 三频点超声功率源

结合理论方法研究和具体硬件的设计,提出一种基于铌酸锂单晶基片的三频点标准超声换能器,由单片机控制DDS芯片产生3种频率的正弦信号,经过高频运算放大器电路,对标准超声换能器激励输出标准超声功率,从而形成三频点标准超声功率源,可作为一种超声功率传递标准。三频点标准超声功率源实现了18.9MHz高频超声波的输出。和英国NPL测量比对的结果显示,3个频率点上的超声功率值误差均不大于±5%,验证了三频点标准超声功率源输出数据的有效性。

来源：2021年第11期

《计量学报》期刊编辑部

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