计量学报

作者：翟玉卫,刘岩,李灏,吴爱华

单位：中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄 050051

关键词：计量学; 图像配准; 光热反射; 成像测温; 三轴压电平台

为了消除被测件与测温仪器相对位移对光热反射成像测温结果的影响,研究了亚像素量级的图像配准算法,配合以基于压电陶瓷的三轴纳米位移台,实现了对位移的实时修正。采用傅里叶变换、频域卷积及sinc函数近似等方法完成了能够实现亚像素级图像配准的算法,实时计算被测件与测温仪器的相对位移;搭建了一套光热反射成像测温实验装置,采用了三轴压电平台实时调节被测件的位置;试验结果显示,当被测件温度从20℃升高至50℃时,被测件在水平方向上发生了明显的位移,采用实验装置能有效修正该位置偏移。对典型的GaN HEMTs器件进行了测试,测试结果与国外检测机构的结果基本一致,证明了图像配准方法的有效性。

来源：2022年第3期

《计量学报》期刊编辑部

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