计量学报

作者：王建波,殷聪,钱进,刘忠有,黄璐,杨雁,陆祖良

单位：中国计量科学研究院,北京 100029

关键词：计量学; 计算电容; 位移测量; 锁定干涉仪; 不确定度评估; 屏蔽电极

基金：国家重点研发计划(2016YFF0200302, 2016YFF0200105)

计算电容是电学阻抗单位复现的基准装置,是电容、电感和交流电阻的溯源依据。它是电磁计量领域内除量子电压、量子电阻基准之外准确度最高的装置。计算电容装置实现微小电容值(0.2至0.6pF)精确测量的关键在于对其屏蔽电极位移的高准确度测量。从计算电容屏蔽电极位移测量的基本原理出发,系统分析了屏蔽电极位移测量结果的影响因素,具体包含Fabry-Perot干涉仪的锁定、稳频激光波长的实时校准、残余气体折射率影响、测量余弦误差以及Gouy相位修正,结合计算电容测量结果的复现性,得到屏蔽电极位移测量的相对标准不确定度为4.7×10-9。

来源：2022年第4期

《计量学报》期刊编辑部

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