计量学报

作者：黎雄威,李琪,纪峰,李适,李伟,黄鹭,施玉书,皮磊

单位：合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥230009

关键词：计量学;计量型激光椭偏仪;椭偏测量;初始入射角;校准;微纳米薄膜

基金：国家质量基础的共性技术研究与应用(2017YFF0204705)

为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角,光轴俯仰角偏差＜0.05°,偏摆角偏差＜0.09°;校准后,对标称值为102.10nm的Si上SiO2膜厚标准片进行测量,示值误差＜0.4nm,提升了计量型激光椭偏仪测量校准服务的准确性。

来源：2022年第5期

《计量学报》期刊编辑部

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