计量学报

作者：乔玉娥,刘霞美,金攀,丁晨,任宇龙,吴爱华,徐燕军

单位：中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄 050051

关键词：计量学; 微小电容; 传递标准; 高频标准电容器; 反算法; 计量比对

fF量级高频微小电容测量在军工电子产品领域有着重要作用,针对微小电容测量仪500fF/1MHz点无法溯源的现状,研制了惰性气体封装的500fF高频标准电容器作为传递标准。建立高频小电容测量模型,基于“反算法”估算出500fF高频标准电容器分布参数,称作“理论推导”溯源方案,不确定度优于0.15%;利用3台同等量级的高频微小电容测量传递标准,称作“计量比对”溯源方案,不确定度优于0.07%。利用以上2种方案对同1台仪器开展溯源,实验数据结果基本一致,能够满足用户使用要求,为更低容值、更高频率的微小电容的溯源提供了可参考的路径。

来源：2022年第7期

《计量学报》期刊编辑部

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