计量学报

作者：刘岩,翟玉卫,丁晨,乔玉娥,荆晓冬,吴爱华

单位：中国电子科技集团公司 第十三研究所,河北 石家庄 050051

关键词：计量学;亚像素图像配准;光热反射显微热成像;位置漂移;PID

光热反射显微热成像测试过程中需要采集若干被测图像,整个过程中图像各像素与被测表面位置的对应关系应保持不变,但是被测表面不可避免地会发生位置漂移,从而引起测量误差。结合光热反射显微热成像的具体应用场景和位置漂移的特性,设计了有针对性的亚像素图像配准算法,结合PID控制驱动三轴纳米位移台实现实时的位置漂移修正。实验验证了算法性能以及漂移修正效果,位移修正残差在5nm以内,与未补偿测量相比,位置漂移引入的误差得到了较好的抑制,提高了光热反射显微热成像测试的准确性。

来源：2022年第9期

《计量学报》期刊编辑部

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