计量学报

作者：许晓青,李锁印,刘晨,赵新宇,赵革艳,吴爱华

单位：中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄 050051

关键词：计量学;温度传感器; 微传感器; 在片薄膜;高低温探针台; 校准方法

基金：国防技术基础计量项目(JSJL2014210B006)

在片薄膜铂电阻温度传感器以铂作为感温薄膜,采用半导体工艺制造,可以有效地监测晶圆片上的半导体器件温度。为了校准该类型温度传感器,根据其工作原理和结构特点,参考JJG 229-2010对校准装置的要求,提出了一种利用高低温探针台、八位半数字多用表以及直流探针组建校准装置的方法;通过组建校准装置,测量温度传感器在不同温度下的电阻值,得到电阻-温度特性的分度表;并对在片薄膜铂电阻温度传感器在25℃和 125℃2个温度点进行校准。校准数据及校准结果验证表明,该方法切实可行,可有效解决无连接引线的在片铂薄膜电阻温度传感器的校准问题。该校准技术也可为其他类型感温元件的在片温度传感器校准提供参考依据。

来源：2022年第12期

《计量学报》期刊编辑部

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