计量学报

作者：高鹤,王仕建,徐达,李劲劲,王雪深,钟青

单位：中国计量科学研究院 前沿计量科学研究中心,北京 102200

关键词：计量学; 约瑟夫森结; Nb/Al-AlOx/Nb三层薄膜沉积; 直流磁控溅射; 氧化工艺

基金：中国计量科学研究院基本科研业务(AKY1946,AKYZD2012,AKYZZ2124)

Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森结构成的低温超导器件有着广泛应用,高质量的S-I-S约瑟夫森结制备的关键之一在于制备高质量的三层膜。三层膜的质量可由许多属性参数影响,比如剩余电阻比R.R.R、超导转变温度Tc、表面粗糙度、应力、铝膜厚度等等。通过对薄膜的溅射沉积条件与上述参数进行分析研究,确定最佳的生长条件。调节不同的氧化工艺条件,可以获得约瑟夫森结的不同临界电流密度。

来源：2023年第5期

《计量学报》期刊编辑部

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