计量学报

作者：陈凯晴,管钰晴,邹文哲,邓晓,孔明,陈雅晴,熊英凡,傅云霞,雷李华

单位：1. 中国计量大学计量测试工程学院,浙江 杭州 310018; 2. 上海市计量测试技术研究院,上海 201203; 3. 上海市在线检测与控制技术重点实验室,上海 201203;

关键词：计量学;Cr原子光刻技术;比对定值;光栅标准物质;自溯源;扁平化;AFM

基金：上海市优秀学术/技术带头人计划(21XD1425000)

建立了一种基于Cr原子光刻技术的nm光栅间距比对测量定值方法。以国家自溯源光栅标准物质来建立标准样板校准溯源体系的可行性为基础,保障测量仪器(如原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)等)更高精度、可溯源性;设计并制备了节距长度有序递增的多周期电子束直写光栅样板,满足可适配于不同分辨率的nm测量仪器的需求,名义节距值分别为200、400、600、800、1000nm。经国家自溯源光栅标准物质比对后的AFM完成对nm栅格标准样板的测量与表征,实验表明:电子束直写制备的光栅标准样板均匀性水平1nm,相对不确定度低于2%,光栅均具有良好的均匀性、准确性以及稳定性,验证了研制的光栅标准样板能作为一种理想的实物标准运用于nm几何量量值溯源体系。

来源：2023年第5期

《计量学报》期刊编辑部

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