计量学报

作者：梅明城,韩琪娜,施杨,周琨荔,曾九孙,王瑾,张诚,高建新,瞿志二,潘奕捷,屈继峰

单位：1. 中国计量大学计量测试工程学院,浙江 杭州 310018; 2. 中国计量科学研究院前沿计量科学研究中心,北京 100029;

关键词：计量学;微腔光子测温; 温度传感;光子温度计;微环谐振腔;高分辨率;小型化

基金：国家重点研发计划目(2022YFF0608304);国家自然科学基金(62075206,62205324)

回音壁模式硅基微腔光子温度传感可应用于强电磁场、高辐照、强振动等极端环境下的温度测量。在前期设计、制备、验证具有毫开尔文(mK)量级分辨率的硅基微环光子温度传感器的基础上,研制了一套小型化微腔光子测温硬件系统,包括信号发生与高速数模转换、电压-电流转换、激光二极管温度控制和微弱信号采集与放大等模块,设计并实现了基于单片机的同步测量方案和光谱测温算法。在高稳定恒温浴槽内验证了系统性能,实际测温结果的扩展不确定度为115mK(k=2),测温范围30K。

来源：2023年第7期

《计量学报》期刊编辑部

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