计量学报

作者：阎晗,张树,皮磊,马英瀚,胡佳成,施玉书

单位：中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018

关键词：计量学;分辨力校准;激光干涉仪;电容传感器; 纳米微动台

基金：国家重点研发计划(2021YFF0700403);国家市场监督管理总局质量技术基础能力建设专项(ANL2003)

激光干涉仪测量纳米级分辨力时,因环境等因素的干扰测量具有局限性,电容传感器可较好地对抗这种干扰,但存在无溯源性、非线性误差的缺点。为实现纳米级分辨力的量值溯源,保障量值准确性,采用激光干涉仪对电容传感器进行校准,从而形成纳米微动台-电容传感器-激光干涉仪的完成溯源链。通过量值溯源实验可知,在10nm步进下电容传感器与激光干涉仪测量量值最大偏差为0.8nm;电容传感器分辨力校准实验中,纳米位移台分辨力为2nm。上述结果说明此校准方法具有一定的可行性和实用性。

来源：2023年第8期

《计量学报》期刊编辑部

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