计量学报

作者：郭创为,管钰晴,沈瑶琼,徐瑞书,朱言瑧,刘丽琴,张玉杰,雷李华,傅云霞

单位：1. 上海市计量测试技术研究院,上海201203; 2. 上海市在线检测与控制技术重点实验室,上海201203;

关键词：光学计量;透射式光学偏折术;显示屏标定;波前测量;曲面拟合

基金：上海市自然科学基金(21ZR1483100)

针对透射式光学偏折系统中最关键的标定环节,提出使用曲面拟合方式拟合显示屏幕面形分布。建立基于透射式光学偏折术的波前检测仿真模型,分析两种不同的显示屏面形拟合方法对波前测量的影响。仿真结果显示:平面屏幕模型波前像差均方根误差(RMS)值为0.8375μm,而曲面屏幕模型仿真波前像差RMS值仅为0.0596μm。采用透射式光学偏折系统对球面透镜进行波前测量,曲面屏幕模型中波前像差RMS值为0.1371μm,平面屏幕模型中波前像差RMS值为1.4326μm。实验结果表明:使用曲面拟合效果明显优于平面拟合效果,证明了曲面拟合屏幕模型的可行性。

来源：2024年第3期

《计量学报》期刊编辑部

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