计量学报

作者：王康,皮磊,张树,张诗涵,施玉书

单位：中国计量科学研究院,北京100029

关键词：几何量计量; 探针;几何特性;失真;表面形貌;多模态识别

基金：国家重点研发计划(2021YFF0700403)

触针式表面形貌测量仪广泛应用于表面粗糙度、几何形状和波纹度等参数的测量,但探针与被测表面交互时所产生的卷积效应会导致测量结果的失真。通过分析探针几何特性引起的失真机理,将失真按其特性分为典型失真和复杂失真。针对探针球形针尖和锥角复合效应引起的失真现象,提出了一种复杂失真的多模态识别方法。实验结果表明:相较于形貌测量仪单模态识别典型失真的限制,该方法可以有效识别形貌测量结果中的复杂失真,同时对测量结果提供可信度解释,为测量结果中失真数据的准确识别和还原提供新的思路。

来源：2024年第3期

《计量学报》期刊编辑部

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