计量学报

作者：柳迪,王琛英,张雅馨,王云祥,王松,陈伦涛,王永录,朱楠,蒋庄德

单位：1. 西安交通大学机械工程学院,陕西西安710049; 2. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,陕西西安710049;

关键词：微米计量;台阶高度标准物质;干法刻蚀;粗糙度;平行度

基金：国家自然科学基金(52175354)

微米台阶高度标准物质用于校准仪器z轴性能,传递准确的微米高度量值。利用光刻结合干法刻蚀工艺实现公称高度为2,5,10μm台阶高度标准物质候选物的制备,并对台阶高度、粗糙度和上下表面平行度进行表征。使用激光共聚焦显微镜和非球面测量仪进行测量,基于双边算法、直方图法、ISO算法和光学显微解耦合准则(LEL)法对台阶高度进行评定,对于同一标准物质候选物各评定方法间的标准差均不超过0.024μm,台阶高度评定值的相对偏差均在5%以内,表明不同算法的评定结果一致性水平较高且量值可靠;不同仪器的评定结果对比,说明了评定方法之间也具有良好的一致性;同时,粗糙度不超过0.04μm,上下表面平行度不超过0.03°,验证了标准物质候选物制备效果良好。

来源：2024年第3期

《计量学报》期刊编辑部

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