计量学报

作者：朱承峰,李万,陈建,孙潇莹,曾九孙,蔡晋辉,王振宇,李劲劲,王雪深

单位：中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018

关键词：电学计量;超导转变边沿探测器;聚酰亚胺;柔性超导电路;超导转变温度;临界电流

基金：国家重点研发计划(2022YFF0608303)

超导转变边沿探测器是坎德拉单位量子化复现和单能X射线量子计量的核心器件。大规模超导转变边沿探测器阵列探头的信号读出需利用柔性超导电路将信号传输至探头侧面的超导量子干涉器件。柔性超导电路是将超导信号线制备在柔性聚酰亚胺衬底上以实现信号低热导率、无阻传输。以硅片作为临时支撑,电子束蒸发100nm Cr膜作为剥离牺牲层。非光敏聚酰胺酸旋涂在Cr膜上固化后,通过紫外曝光、溅射薄膜沉积和剥离等工艺制备Nb/Al薄膜传输线结构,利用Cr膜高应力特性将聚酰亚胺薄膜从硅片上剥离,湿法腐蚀Cr膜完成柔性超导电路的制备。测试的40根Nb/Al传输线的超导转变温度Tc为8.91~9.02K,剩余电阻比rRR为5.83~6.96。温度为8K时,38根传输线临界电流Ic超过1mA;温度为4.2K时,所有样品Ic均超过1mA,其中有25根传输线Ic超过10mA,满足超导转变边沿探测器阵列测试需求。

来源：2024年第7期

《计量学报》期刊编辑部

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