计量学报

作者：赵硕, 冉自煊, 陈建, 杨雁

关键词：电磁计量,飞法,片上电容标准单元,叉指结构,Schwarz-Christoffel变换

基金：国家重点研发计划项目(2022YFF0605503)

基于Schwarz-Christoffel变换，对叉指电容结构的电容值进行了理论计算，通过理论计算和仿真分析，研究了叉指电容结构几何尺寸和电极对数对片上小电容标准单元的影响，并实现了电容值在10 fF～100 fF的叉指结构电容标准单元的制备和测试验证。测试结果表明，片上小电容标准单元的电容值随着叉指电极长度和对数增加电容值的改变将越趋近于线性变化，在10 fF～100 fF范围内片上小电容标准单元的标准不确定度优于0.5% × C + 100 aF（C为电容值）。研究结果为进一步制作更宽范围的片上小电容标准单元提供研究基础。

来源：2025年第1期

《计量学报》期刊编辑部

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