计量学报

作者：高启元, 施玉书, 张树, 史舟淼, 王康, 胡佳成

关键词：几何量计量,可溯源光栅,光栅位移测量系统,对位误差,激光干涉仪,不确定度

基金：国家重点研发计划(2022YFF0605501)

通过构建以光栅栅距校准值作为栅距量值的可溯源光栅位移测量系统，实现量值从米定义到光栅位移测量系统的传递。分析了光栅与读数头之间的对位误差对栅距和干涉信号对比度的影响。并进行系统的静态稳定性实验和与激光干涉仪的位移测量一致性实验，实验结果表明：可溯源光栅位移测量系统的短期稳定性为3.35 nm，长期稳定性优于70 nm；系统与激光干涉仪对不同行程位移的测量结果具有较好的一致性，在10 μm和500 μm位移范围内的各测量点处，测量平均值误差的绝对值分别不超过0.07%和0.013%。最后分析系统测量不确度的主要来源，并评定系统对10 μm位移测量的不确定度，结果显示相对扩展不确定度为0.83%（k=2）。

来源：2025年第2期

《计量学报》期刊编辑部

查看计量学报杂志2025年第2期