计量学报

作者：王培成, 刘志华, 蔡晨光, 任子啸, 吕琦

关键词：力学计量,振动校准系统,宽频带,迭代学习控制,运动学正解

基金：国家自然科学基金面上项目(52075512)

为了解决六自由度振动校准因振动频率升高产生的幅值衰减和波形失真问题，提出了基于任务空间的迭代学习控制方法，以满足MEMS传感器的宽频带校准需求。根据六自由度振动校准系统微分运动学方程，推导了高频线性化的快速正解算法。设计P型迭代学习律，通过系统动力学模型推导了迭代学习控制的收敛条件。在六自由度振动校准系统上对宽频带控制方法进行了幅频响应、漂移误差、横向振动比和谐波失真度的实验测试。结果表明，在1~50 Hz频率范围幅值响应能够维持在0 dB；对比默认伺服控制，x轴作频率为20 Hz，幅值为0.12 mm的正弦振动时y轴和z轴的峰值漂移误差分别下降57.99%和58.46%，10 Hz以上对横向振动的抑制最高可达63.53%，各轴振动谐波失真度均有所改善。

来源：2025年第7期

《计量学报》期刊编辑部

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