计量学报

作者：赵华庆, 李加福, 罗明哲, 杜华, 胡佳成

关键词：几何量计量,台阶仪,校准方法,可直接溯源,压电陶瓷,激光干涉仪

基金：国家自然科学基金(52205579)

现有台阶仪校准方法为先用微纳米台阶高度标准样板测量示值误差，再用计量型扫描探针显微镜校准微纳米台阶高度标准样板。这一溯源链有标准样板和扫描探针显微镜2个环节，校准过程较为复杂。针对这一问题，研究了一种可直接溯源的台阶仪校准方法。校准平台通过压电陶瓷产生位移，带动台阶仪探针的运动，并通过内嵌激光干涉仪的方法实时测量位移量，达到将台阶仪探针位移结果直接溯源到激光波长的目的，解决现有校准方法复杂的问题。校准范围为0~13 μm，通过实验，可以得到台阶仪的重复性为1.48 nm，示值误差为2.78 nm，线性度为0.067%，验证了该校准平台的准确性，并对校准平台的不确定度进行了分析，其标准不确定度为0.97 nm。

来源：2025年第9期

《计量学报》期刊编辑部

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